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本发明涉及基材干燥机、包括这种基材干燥机的基材处理设备以及基材处理方法。这种基材干燥机包括：腔室；操作室，该操作室构成该腔室的一部分并用于向基材供应超临界流体以使该基材干燥；以及高压室，该高压室构成该腔室的另一部分并用于使该操作室升压到临界压力之上。根据本发明，通过该高压室使该基材干燥室快速升压而变为超临界状态，于是使用超临界流体进行基材干燥处理。
申 请 号： 200710108454.0 申 请 日： 2007.06.14
名 称： 使用超临界流体的基材干燥机、包括它的设备以及处理基材的方法
公 开 (公告) 号： CN101144678 公开(公告)日： 2008.03.19
主 分 类 号： F26B5/00(2006.01)I 分案原申请号：
分 类 号： F26B5/00(2006.01)I
颁 证 日： 优 先 权： 2006.9.12 KR 10-2006-0087935
申请(专利权)人： 细美事有限公司
地 址： 韩国忠清南道
发 明 (设计)人： 赵重根;具教旭 国 际 申 请：
国 际 公 布： 进入国家日期：
专利 代理 机构： 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 代 理 人： 梁兴龙;武玉琴
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